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PRODUCT

OLED Equipment

Aligner : 진공 증착 장비에서, Wafer와 Mask를 정밀하게 Align하는 장치
Key Feature
  • FMM Aligner (Rotation Type / Non Rotation Type)
  • Glass Size 2.5G ~ 6GH
  • Aligner Accuracy ± 1㎛